宁波园区单机带屏款静电三辊闸工厂
半导体车间的静电防护等级半导体制造环境的静电防护等级通常要求高,因为一颗芯片内部的电路结构其微小,静电放电产生的瞬间电流足以造成不可逆损伤。行业普遍要求进入车间的人员通过手腕带和静电鞋的双重检测。
二、分区域管控策略
半导体车间通常划分为不同级别的静电防护区域。进入一般防静电区的人员可能只需检测静电鞋,而进入核心晶圆制造区则需要同时检测手腕带和静电鞋。ESD三辊闸的权限分级功能可以实现这种差异化管控。
数据记录:每一次通行都有据可查联网型ESD门禁会把每次测试的结果、时间、人员信息上传到管理平台。万一后续产品出现静电损伤,可以回溯当天进入车间的人员测试记录,定位问题。
贵彬科技在半导体行业ESD门禁领域积累了经验,其人体综合测试仪与三辊闸联动方案,已服务于多家晶圆制造和封装测试企业。
从“人管人”到“系统管人”——ESD静电门禁如何让防静电靠自觉
人体综合测试仪通过测试人体的电阻间接反映人体的静电,确保被测试人佩戴的鞋具、腕带等合格,同时向后续部件输出信号以驱动通道机构。当人体穿着防静电鞋站立在测试踏板上,或佩戴手腕带并接触测试电时,测试仪通过施加已知电压,测量人体对地的电阻值。手腕带测试通常采用750KΩ至10MΩ的电路。测试时,人员将手腕带与测试仪的连接端子相连,测试仪测量从手腕带经过人体到地面的电阻。如果手腕带佩戴不当或内部断路,测试仪将检测到阻值异常。
ESD防静电闸机是静电防护区专用的人体静电检测通行设备,核心用于作业人员进入静电防护区前的静电检测与释放管控,可有效规避人体携带静电造成的产品击穿、损坏、批量不良等问题。设备可对作业人员人体静电进行精准检测,确保人员完成静电接地、充分释放静电,且静电数值处于系统设定合规范围内后,闸机方可放行通行,从入口源头筑牢车间静电防护防线。设备支持测手脚、测手、测脚、VIP免测、四种检测模式,可根据车间防护等级按需选配。